CVD氣相沉積爐
先進陶瓷
CVD氣相沉積爐燒結碳碳/碳陶復合材料
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用途：
CVD氣相沉積爐用于燒結碳碳及碳陶復合材料產(chǎn)品.
主要配置：
1.立式爐體，雙層爐體結構，水冷夾套設計。
2.爐膛內(nèi)由發(fā)熱元件，保溫層，測溫熱電偶，監(jiān)測熱電偶組成
3.發(fā)熱元件沿爐膛內(nèi)壁均勻布置，有利于加熱，溫度均勻性好
4.PLC加觸摸屏操作方式，有報警功能，自動化程序高,安全可靠
主要技術參數(shù):
1.工作區(qū)：?1500X2000mm
2.高溫度：1550℃
3.工作溫度：1400℃
3.極限真空度：20Pa
4.加熱方式電阻加熱
5.工作氣氛氬氣及反應氣體
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